Компания ASML, ведущий мировой поставщик литографического оборудования, официально представила обновленную технологическую дорожную карту на конференции SPIE EUVL 2026. В центре внимания оказались планы по внедрению систем Hyper-NA с числовой апертурой более 0,75, которые станут ключевым инструментом для производства полупроводников следующего поколения.
Успехи High-NA и переход к массовому производству
Текущее поколение сканеров (High-NA EUV с апертурой 0,55) уже вплотную приблизилось к этапу широкомасштабного внедрения. По данным ASML, к концу 2025 года на оборудовании этого типа было обработано около 500 000 кремниевых пластин, что подтверждает успешное прохождение этапа сертификации.
Особое значение для индустрии имеет модернизированная модель EXE:5200B. Основные характеристики системы включают:
- Повышенная производительность: до 175 пластин в час.
- Начало поставок ключевым клиентам: четвертый квартал 2025 года.
- Целевое назначение: обеспечение литографических процессов для техпроцессов уровня 2 нм и выше.
Эра Hyper-NA: литография после узла A7
Перспективная технология Hyper-NA призвана решить проблему дальнейшей миниатюризации транзисторов после достижения узла A7 (эквивалент 0,7 нм). ASML планирует запустить массовое производство таких систем к 2033 году. Инженеры компании подчеркивают, что новая архитектура будет базироваться на существующей платформе High-NA, что позволит избежать критического увеличения габаритов оптических компонентов.
Технология Hyper-NA позволит значительно сократить количество шагов экспозиции за одну маску, что напрямую влияет на выход годной продукции и энергоэффективность производства.
Несмотря на прогнозируемую высокую стоимость первых образцов оборудования, переход на сверхвысокую числовую апертуру считается экономически оправданным. Это позволит избежать сложного мультипаттернинга (многократного наложения масок), тем самым снижая общее энергопотребление фабрик и упрощая производственный цикл.
Развитие дорожной карты ASML подтверждает амбиции полупроводниковой отрасли по сохранению темпов действия закона Мура. Внедрение систем Hyper-NA создаст необходимый технологический задел для создания вычислительных систем следующего десятилетия, обеспечивая превосходство в плотности размещения элементов на кристалле.