ASML представила Hyper-NA: будущее литографии за пределами 1 нм
Компания ASML, ведущий мировой поставщик литографического оборудования, официально представила обновленную технологическую дорожную карту на конференции SPIE EUVL 2026. В центре внимания оказались планы по внедрению систем Hyper-NA с числовой апертур...